Вакуумная система

Вакуумная система обеспечивает поддержание рабочего вакуума в камере и анодном блоке пушки. Для откачки камеры система может комплектоваться турбомолекулярным или диффузионным насосом мощностью , соответствующей объему камеры.

Для откачки пушки последняя комплектуется шибером (при работе вне камеры) и турбомолекулярным насосом для откачки анодного пространства. Управление обеспечивается системой автоматизированного контроля вакуума SEO-VAC Control.